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マイクロ・ナノ電子ビーム装置における真空技術 / 吉村長光著
マイクロ ナノ デンシ ビーム ソウチ ニオケル シンクウ ギジュツ

データ種別 図書
出版者 東京 : エヌ・ティー・エス
出版年 2003.12
本文言語 日本語
大きさ 6, 338, 2, 10p : 挿図 ; 26cm
別書名 異なりアクセスタイトル:マイクロ・ナノ電子ビーム装置における真空技術

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土:中央図書館閉架地下記念文庫室(上層)
534.93/M31y a5006205235b
4860430395
泉:多賀城キャンパス図書館図書コーナー
534.93/M31y a5003206224b
4860430395

書誌詳細を非表示

一般注記 監修: 岡野達雄
参考・引用文献: 各章末
著者標目 吉村, 長光 <ヨシムラ, ナガミツ>
件 名 BSH:真空技術
BSH:電子線
NDLSH:真空工学
分 類 NDC9:534.93
NDLC:NB126
書誌ID 1000179886
ISBN 4860430395
NCID BA6508397X

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