Fundamentals of semiconductor manufacturing and process control / Gary S. May, Costas J. Spanos
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | [Piscataway] : IEEE |
| 出版者 | Hoboken, N.J. : Wiley-Interscience |
| 出版年 | c2006 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | xix, 463 p. : ill. ; 25 cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 請求メモ | 予約 | 仮想書架 | 指定図書 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 土:中央図書館閉架地下記念文庫室(上層) |
|
TK/7871fm | a5007000642b |
|
9780471784067 |
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| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
|---|---|
| 著者標目 | May, Gary S. Spanos, Costas J. |
| 件 名 | Semiconductors -- Design and construction
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Integrated circuits -- Design and construction 全ての件名で検索 Process control -- Statistical methods 全ての件名で検索 |
| 分 類 | LCC:TK7871.85 |
| 書誌ID | 1000823400 |
| ISBN | 9780471784067 |
| NCID | BA80026836 |
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