Integrated processing for micro- and optoelectronics : proceedings of Symposium D on Integrated Processing for Micro- and Optoelectronics of the 1993 E-MRS Spring Conference, Strasbourg, France, May 4-7, 1993 / edited by Y. I. Nissim, A. Katz, G. W. Rubloff
(European Materials Research Society symposia proceedings ; v. 42)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Amsterdam : North-Holland |
| 出版者 | New York |
| 出版年 | c1994 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | xii, 94-398 p. ; 29 cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 請求メモ | 予約 | 仮想書架 | 指定図書 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 泉:多賀城キャンパス図書館図書コーナー |
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TK/7836is | a5095002274b |
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0444819835 |
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| 一般注記 | "Reprinted from: Microelectronic Engineering 25 (2-4):pp. 93-364 and Thin Solid Films 241:pp. [365]-[398]" -- T.p. verso Includes bibliographical references |
|---|---|
| 著者標目 | Nissim, Yves I., 1953- Katz, Avishay Rubloff, G. W. (Gary W.) |
| 件 名 | Integrated circuits industry -- Congresses
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| 分 類 | DDC:621.3815/2 LCC:TK7836 |
| 書誌ID | 1000942456 |
| ISBN | 0444819835 |
| NCID | BA2376984X |
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