Computational modeling in semiconductor processing / M. Meyyappan, editor
(The Artech House materials science library)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Boston : Artech House |
| 出版年 | c1995 |
| 大きさ | x, 363 p. : ill. ; 24 cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 請求メモ | 予約 | 仮想書架 | 指定図書 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 泉:多賀城キャンパス図書館図書コーナー |
|
TK/7871cm | a5095007508b |
|
0890067074 |
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| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
|---|---|
| 著者標目 | Meyyappan, M. |
| 件 名 | Semiconductors -- Design and construction -- Data processing
全ての件名で検索
Process control -- Mathematical models 全ての件名で検索 Semiconductor industry |
| 分 類 | DDC:621.3815/2/0113 LCC:TK7871.85 |
| 書誌ID | 1000948941 |
| ISBN | 0890067074 |
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