Science and technology of semiconductor surface preparation : symposium held April 1-3, 1997, San Francisco, California, U.S.A. / editors, Gregg S. Higashi ... [et al.]
(Materials Research Society symposium proceedings ; v. 477)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Pittsburgh, Pa. : Materials Research Society |
| 出版年 | c1997 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | xiii, 545 p. : ill. ; 24 cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 請求メモ | 予約 | 仮想書架 | 指定図書 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 泉:多賀城キャンパス図書館図書コーナー |
|
TK/7871sh | a5098001479b |
|
1558993819 |
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| 一般注記 | Includes bibliographical references and indexes |
|---|---|
| 著者標目 | Higashi, Gregg S. |
| 件 名 | Semiconductors -- Surfaces -- Congresses
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Surface preparation -- Congresses 全ての件名で検索 Semiconductors -- Cleaning -- Congresses 全ての件名で検索 Surface chemistry -- Congresses 全ての件名で検索 |
| 分 類 | LCC:TK7871.85 |
| 書誌ID | 1000973836 |
| ISBN | 1558993819 |
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