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Fundamental electrochemistry and physics
(Semiconductor micromachining / edited by S. A. Campbell and H. J. Lewerenz ; . v. 1)

データ種別 図書
出版者 Chichester, England : Wiley
出版者 New York
出版年 c1998
本文言語 英語
大きさ xii, 315 p. :ill. ; 24 cm.

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泉:多賀城キャンパス図書館図書コーナー
TK/7871fc a5098002734b
0471966819

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一般注記 Includes bibliographical references and index
著者標目 Campbell, S. A.
Lewerenz, H. J.
件 名 Semiconductors -- Design and construction  全ての件名で検索
Micromachining
Microfabrication
分 類 LCC:TK7871.85
書誌ID 1000975637
ISBN 0471966819

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