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Microlithography world

データ種別 雑誌
出版者 Nashua, N.H. : Penn Well Publication, published in cooperation with SPIE
本文言語 英語
大きさ v. : ill. ; 28 cm

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泉:図書館 4-17 1995-2008 多賀城キャンパス図書館雑誌コーナー　※15(3)調査中
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泉:多賀城キャンパス図書館雑誌コーナー 17(3) 2008.08 C550386324
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泉:多賀城キャンパス図書館雑誌コーナー 17(2) 2008.05 C550388919
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別書名 略タイトル:Microlithogr. world
キータイトル:Microlithography world
一般注記 Description based on: Vol. 4, no. 4 (autumn 1995)
Title from cover
Began with: Vol. 1, no. 1 (Mar./Apr. 1992)
A publication of: Solid state technology
著者標目 Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
件　名 LCSH:Semiconductors -- Design and construction -- Periodicals  全ての件名で検索
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LCSH:Masks (Electronics) -- Periodicals  全ての件名で検索
書誌ID 2000017773
ISSN 1074407X
NCID AA11051803
刊行頻度 季刊 (年4回刊)

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