Techniques and industrial applications / Edited by S. A. Campbell and H. J. Lewerenz
(Semiconductor micromachining / edited by S. A. Campbell and H. J. Lewerenz ; v. 2)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Chichester, England : Wiley |
| 出版者 | New York |
| 出版年 | c1998 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | xii, 389 p. : ill. ; 24 cm. |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 請求メモ | 予約 | 仮想書架 | 指定図書 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 泉:多賀城キャンパス図書館図書コーナー |
|
TK/7871tc | a5098005096b |
|
0471966827 |
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| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
|---|---|
| 著者標目 | Campbell, S. A. Lewerenz, H. J. |
| 件 名 | Semiconductors -- Design and construction
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Micromachining Microfabrication |
| 分 類 | LCC:TK7871.85 |
| 書誌ID | 1000979543 |
| ISBN | 0471966827 |
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