Silicon micromachining / M. Elwenspoek and H. V. Jansen
(Cambridge studies in semiconductor physics and microelectronic engineering ; 7)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Cambridge : Cambridge Univ. Pr. |
| 出版者 | New York |
| 出版年 | 2004 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | xiii, 405 p. : ill. ; 25 cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 請求メモ | 予約 | 仮想書架 | 指定図書 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 土:中央図書館閉架地下記念文庫室(上層) |
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TK/7871se | a5006002575b |
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0521607671 |
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| 一般注記 | "First paperback edition 2004"--T.p. verso Includes bibliographical references and index |
|---|---|
| 著者標目 | Elwenspoek, M. (Miko), 1948- Jansen, H. V. (Henri V.) |
| 件 名 | Silicon Micromachining Etching |
| 分 類 | DDC:621.3815 LCC:TK7871.15.S55 |
| 書誌ID | 1000818353 |
| ISBN | 0521607671 |
| NCID | BA77002920 |
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