Contamination and ESD control in high-technology manufacturing / Roger W. Welker, R. Nagarajan, Carl E. Newberg
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | [Piscataway, NJ] : IEEE Press |
| 出版者 | Hoboken, N.J. : John Wiley |
| 出版年 | c2006 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | xvi, 498 p. : ill. ; 26 cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 請求メモ | 予約 | 仮想書架 | 指定図書 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 土:中央図書館閉架地下記念文庫室(上層) |
|
TK/7870cw | a5010003251b |
|
9780471414520 |
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| 一般注記 | Includes bibliographical references and index "Wiley-interscience" |
|---|---|
| 著者標目 | *Welker, R. W. Nagarajan, R. (Ramamurthy) Newberg, Carl E. |
| 件 名 | LCSH:Electronic apparatus and appliances -- Protection
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LCSH:Electric discharges LCSH:Electrostatics LCSH:Contamination (Technology) LCSH:Clean rooms |
| 分 類 | LCC:TK7870 DC22:670.42 |
| 書誌ID | 1001042541 |
| ISBN | 9780471414520 |
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