Chemical-mechanical planarization of semiconductor materials / M.R. Oliver (ed.)
(Springer series in materials science ; v. 69)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Berlin ; Tokyo : Springer |
| 出版年 | c2004 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | x, 425 p. : ill. ; 24 cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 請求メモ | 予約 | 仮想書架 | 指定図書 |
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| 土:中央図書館閉架地下記念文庫室(上層) |
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TK/7871co | a5004005050b |
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3540431810 |
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| 土:中央図書館閉架地下記念文庫室(上層) |
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TK/7871co | a5005000147b |
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3540431810 |
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| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
|---|---|
| 著者標目 | Oliver, M. R. (Michael R.), 1943- |
| 件 名 | LCSH:Semiconductors -- Materials
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LCSH:Grinding and polishing |
| 分 類 | LCC:TK7871.85 DC22:621.3815/2 |
| 書誌ID | 1000769034 |
| ISBN | 3540431810 |
| NCID | BA65818089 |
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