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図解フォトファブリケーション : 精密・微細加工入門 / 橋本貴夫著
ズカイ フォト ファブリケーション : セイミツ ・ ビサイ カコウ ニュウモン
(マイクロ加工シリーズ)

データ種別 図書
出版者 東京 : 総合電子出版社
出版年 1986.7
本文言語 日本語
大きさ 272p ; 22cm

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泉:多賀城キャンパス図書館図書コーナー
549.7/Z6h a5092214055b


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一般注記 参考図書: p[251]-252
著者標目 橋本, 貴夫 <ハシモト, ヨシオ>
件 名 リソグラフィー
印刷回路
分 類 NDC8:549.7
書誌ID 1000474703
NCID BN02358011

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