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自己組織化プロセス技術 / 村田好正, 尾関雅志, 野崎眞次共編
ジコ ソシキカ プロセス ギジュツ
(アドバンストエレクトロニクスシリーズ ; I-20)

データ種別 図書
出版者 東京 : 培風館
出版年 1999.7
本文言語 日本語
大きさ x, 307p ; 22cm

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泉:多賀城キャンパス図書館図書コーナー
549.8/J51m a5099205605b
456303620X

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一般注記 カテゴリーI: エレクトロニクス材料・物性・デバイス
参考文献: 各章末
著者標目 村田, 好正(1935-) <ムラタ, ヨシタダ>
尾関, 雅志 <オゼキ, マサシ>
野崎, 眞次 <ノザキ, シンジ>
件 名 半導体
半導体
分 類 NDC9:549.8
NDC8:549.8
書誌ID 1000624606
ISBN 456303620X
NCID BA4214337X

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