Predictive simulation of semiconductor processing : status and challenges / J. Dabrowski, E.R. Weber (eds)
(Springer series in materials science ; v. 72)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Berlin : Springer |
| 出版者 | New York |
| 出版年 | c2004 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | xvii, 490 p. ; 24 cm |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 請求メモ | 予約 | 仮想書架 | 指定図書 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 土:中央図書館閉架地下記念文庫室(上層) |
|
TK/7871pd | a5007000312b |
|
3540204814 |
|
書誌詳細を非表示
| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
|---|---|
| 著者標目 | Dabrowski, Jarek Weber, Eicke R. |
| 件 名 | Semiconductors -- Simulation methods
全ての件名で検索
Microelectronics -- Technological innovations 全ての件名で検索 |
| 分 類 | LCC:TK7871.85 |
| 書誌ID | 1000823421 |
| ISBN | 3540204814 |
| NCID | BA6728826X |
類似資料
