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Comprehensive microsystems / Editors-in-chief, Yogesh B. Gianchandani, Osamu Tabata, Hans Zappe

データ種別 図書
出版者 Amsterdam : Elsevier
出版年 c2008
本文言語 英語
大きさ 3 v. : ill. ; 27 cm

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土:中央図書館閉架地下記念文庫室(上層) v. 1 TK/7875cg/1 a5008000455b
9780444521910
土:中央図書館閉架地下記念文庫室(上層) v. 2 TK/7875cg/2 a5008000460b
9780444521927
土:中央図書館閉架地下記念文庫室(上層) v. 3 TK/7875cg/3 a5008000476b
9780444521934

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内容注記 v. 1. Materials
Fabrication and packaging
Electronics and systems design
v. 2. Actuation mechanism
Physical sensing
Chemical and biological systems
v. 3. Optical systems
Industrial applications
Emerging topics
一般注記 Includes bibliographical references and index
著者標目 Gianchandani, Yogesh B.
Tabata, Osamu
Zappe, Hans P.
件 名 LCSH:Microelectromechanical systems
分 類 DC22:621.381
書誌ID 1000831362
ISBN 9780444521941
NCID BA8420071X

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