Lithography for VLSI / edited by Norman G. Einspruch, R. K. Watts
(VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch ; v. 16)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Orlando : Academic Pr. |
| 出版者 | Tokyo |
| 出版年 | 1987 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | xi, 361 p. : ill. ; 24 cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 請求メモ | 予約 | 仮想書架 | 指定図書 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 泉:多賀城キャンパス図書館図書コーナー |
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TK/7874ve/16 | a5080099171b |
|
0122341163 |
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| 一般注記 | Includes bibliographies and index |
|---|---|
| 著者標目 | Einspruch, Norman G. Watts, R. K. (Roderick K.), 1939- |
| 件 名 | Integrated circuits -- Very large scale integration
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Printed circuits Lithography |
| 分 類 | DDC:621.381/73 s LCC:TK7874 DDC:621.381/73 |
| 書誌ID | 1000891540 |
| ISBN | 0122341163 |
| NCID | BA01291241 |
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