Proceedings, IEEE Micro Electro Mechanical Systems : an investigations of micro structures, sensors, actuators, machines and systems : Oiso, Japan, January 25-28, 1994 / sponsored by the IEEE Robotics and Automation Society in cooperation with the ASME Dynamic Systems and Control Division and the Micromachine Center
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Piscataway : IEEE Service Center |
| 出版年 | 1994 |
| 本文言語 | 英語 |
| 大きさ | xiv, 360 p. : ill. ; 29 cm |
| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:94CH34041 異なりアクセスタイトル:MEMS |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 請求メモ | 予約 | 仮想書架 | 指定図書 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 泉:多賀城キャンパス図書館図書コーナー |
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TK/153pi | a5094004542b |
|
0780318331 |
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| 一般注記 | "IEEE catalog number 94CH3404-1" Includes bibliographical references and indexes |
|---|---|
| 著者標目 | IEEE Robotics and Automation Society IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems (1994 : Oiso, Japan) American Society of Mechanical Engineers. Dynamic Systems and Control Division Micromachine Center |
| 件 名 | Electromechanical devices -- Congresses
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| 分 類 | DDC:621.3 LCC:TK153 |
| 書誌ID | 1000933215 |
| ISBN | 0780318331 |
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