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ULSIプロセス技術 / 原央編
ULSI プロセス ギジュツ
(アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリー1 . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 17)

データ種別 図書
出版者 東京 : 培風館
出版年 1997.6
本文言語 日本語
大きさ x, 286p ; 22cm

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泉:多賀城キャンパス図書館図書コーナー
549.7/U62h a5097209963b
456303617X
泉:多賀城キャンパス図書館図書コーナー
549.7/U62h a5097209984b
456303617X

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一般注記 執筆: 有門経敏ほか
参考文献: 各章末
索引あり
著者標目 原, 央 <ハラ, ヒサシ>
件 名 NDLSH:集積回路
分 類 NDC8:549.7
NDC9:549.7
書誌ID 1000568820
ISBN 456303617X
NCID BA30760470

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