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Foundations of MEMS / Chang Liu

データ種別 図書
出版者 Upper Saddle River, N.J. : Pearson/Prentice Hall
出版年 c2006
本文言語 英語
大きさ xxii, 530 p. : ill. ; 25 cm

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土:中央図書館閉架地下記念文庫室(上層)
TK/7875fl a5006001613b
0131472860

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一般注記 Includes bibliographical references and index
著者標目 Liu, Chang
件 名 Microelectromechanical systems
分 類 LCC:TK7875
書誌ID 1000815584
ISBN 0131472860
NCID BA77278681

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