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半導体材料の欠陥評価技術 : GaAs基板評価・Si MOS界面評価
ハンドウタイ ザイリョウ ノ ケッカン ヒョウカ ギジュツ : GaAs キバン ヒョウカ・Si MOS カイメン ヒョウカ

データ種別 図書
出版者 東京 : サイエンスフォーラム
出版年 1985.4
本文言語 日本語
大きさ 419p ; 31cm

所蔵情報を非表示

泉:多賀城キャンパス図書館図書コーナー
549.8/I37h/B a5080003176b


泉:多賀城キャンパス図書館図書コーナー
549.8/I37h/A a5080108983b


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一般注記 監修:生駒俊明,長谷川文夫
執筆者:生駒俊明ほか
各章末:参考文献
限定版
件 名 NDLSH:半導体
分 類 NDC8:549.8
NDLC:ND371
書誌ID 1000088262
NCID BN01214300

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