VLSIプロセス技術 : 高歩留りのための問題点とその解決 / 小林稔, 中島蕃著
VLSI プロセス ギジュツ : コウブドマリ ノ タメ ノ モンダイテン ト ソノ カイケツ
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 版 | 第2版 |
| 出版者 | 東京 : 日刊工業新聞社 |
| 出版年 | 2002.3 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | xi, 169p ; 22cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 請求メモ | 予約 | 仮想書架 | 指定図書 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 泉:多賀城キャンパス図書館図書コーナー |
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549.7/V84k | a5002207347c |
|
4526049050 |
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| 一般注記 | 監修: 垂井康夫 文献: 章末 |
|---|---|
| 著者標目 | 小林, 稔(1932-) <コバヤシ, ミノル> 中島, 蕃 <ナカジマ, シゲル> 垂井, 康夫(1929-) <タルイ, ヤスオ> |
| 件 名 | 集積回路 |
| 分 類 | NDC9:549.7 NDC8:549.7 |
| 書誌ID | 1000139846 |
| ISBN | 4526049050 |
| NCID | BA56507656 |
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