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新しいレジスト材料とナノテクノロジー / 山岡亞夫監修
アタラシイ レジスト ザイリョウ ト ナノテクノロジー

データ種別 図書
出版者 東京 : シーエムシー出版
出版年 2002.9
本文言語 日本語
大きさ vi, 253p ; 27cm

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土:中央図書館閉架地下記念文庫室(上層)
549.7/A94 a5002205156b
4882313677

書誌詳細を非表示

一般注記 監修: 山岡亞夫
著者標目 山岡, 亞夫 <ヤマオカ, ツグオ>
件 名 リソグラフィー
ナノテクノロジー
分 類 NDC9:549.7
NDC8:549.7
書誌ID 1000141573
ISBN 4882313677
NCID BA59535465

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