電子線リソグラフィ教本 / 秋永広幸編
デンシセン リソグラフィ キョウホン
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : オーム社 |
| 出版年 | 2007.6 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | xiii, 210p ; 21cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 請求メモ | 予約 | 仮想書架 | 指定図書 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 土:中央図書館閉架地下記念文庫室(上層) |
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549.7/D59a | a5007204636c |
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9784274204159 |
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