半導体CMP用語事典 / 精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会編
ハンドウタイ CMP ヨウゴ ジテン
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : オーム社 |
| 出版年 | 2008.10 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | vii, 262p ; 19cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 請求メモ | 予約 | 仮想書架 | 指定図書 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 泉:多賀城キャンパス図書館図書コーナー |
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549.7/H29s | a5009202631c |
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9784274206122 |
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