入門真空・薄膜・スパッタリング / R.V.Stuart著 ; 毛利衛, 数坂昭夫共訳
ニュウモン シンクウ ハクマク スパッタリング
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 技報堂出版 |
| 出版年 | 1985.10 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | 2,2,3,145p ; 22cm |
| 別書名 | 原タイトル:Vacuum technology, thin films, and sputtering 異なりアクセスタイトル:真空・薄幕・スパッタリング : 入門 |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 請求メモ | 予約 | 仮想書架 | 指定図書 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 泉:多賀城キャンパス図書館図書コーナー |
|
534.93/N99s | a5080632647b |
|
4765503585 |
|
類似資料
