半導体プロセス・形状シミュレーション技術 : 加工精度向上のツボ / 重里有三, 高木茂行共著
ハンドウタイ プロセス ケイジョウ シミュレーション ギジュツ : カコウ セイド コウジョウ ノ ツボ
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : オーム社 |
| 出版年 | 2012.10 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | x, 220p : 挿図 ; 21cm |
| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:半導体プロセス形状シミュレーション技術 : 加工精度向上のツボ |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 請求メモ | 予約 | 仮想書架 | 指定図書 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 土:中央図書館閉架地下記念文庫室(上層) |
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549.8/H29s | a5012206140b |
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9784274212741 |
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