半導体微細パターニング : 限界を超えるポスト光リソグラフィ技術 / 岡崎信次監修
ハンドウタイ ビサイ パターニング : ゲンカイ オ コエル ポスト ヒカリ リソグラフィ ギジュツ
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : エヌ・ティー・エス |
| 出版年 | 2017.4 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | ii, x, 382, 12p, 図版vip : 挿図 ; 27cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 請求メモ | 予約 | 仮想書架 | 指定図書 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 土:中央図書館閉架地下記念文庫室(上層) |
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549.7/H29 | a5017203067b |
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9784860434670 |
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