はじめての半導体製造装置 / 前田和夫著
ハジメテ ノ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ
(現場の即戦力)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 技術評論社 |
| 出版年 | 2011.8 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | xi, 249p ; 21cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 請求メモ | 予約 | 仮想書架 | 指定図書 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 土:中央図書館閉架地下記念文庫室(上層) |
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549.8/H16m | a5012205130c |
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9784774147505 |
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書誌詳細を非表示
| 一般注記 | 工業調査会 1999年刊の再刊 さらに半導体製造装置を学ぶ人のための参考書: p237-240 引用文献および資料: p241-244 |
|---|---|
| 著者標目 | 前田, 和夫(1935-) <マエダ, カズオ> |
| 件 名 | BSH:半導体 |
| 分 類 | NDC8:549.8 NDC9:549.8 |
| 書誌ID | 1001070046 |
| ISBN | 9784774147505 |
| NCID | BB0639980X |
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